半导体应用程序

先进的半导体需要精确测量

半导体制造业

机器部件在半导体制造设施中

更精细的几何和密集循环需要更精确的RF功率控制在蚀刻和沉积过程中。亚博vip网页版Tegam在高功率RF测量中的专业知识是过程控制中一致性和可重复性的关键。我们在所有标准ISM频率下维护ISO17025认证,高达10千瓦。我们无与伦比的量热计实现最低的不确定性,可通过国家标准进行可追溯。您可以使用我们的校准服务来维护您的工作标准或从美国购买工作标准,并通过认证的校准。

  • 5500系列RF功率计独特于一个包装中的传感器和仪表。它可用于将0.5%测量转移到半导体Fab的地板或原位监视器。积分显示测量功率(FWD / REV),频率和VSWR。它是一个标准的USB端口,可与Gemini工具软件一起使用,用于监控和记录笔记本电脑。
  • 700系列焊锡米Excel在生产工具上测量少于1Ω的电键,以验证安全场和RF屏蔽。这些都是高度便携作为市场上最小的债券仪表。720A承载UL / ATEX / CSA额定值,并且可以用于潜在的危险位置,例如在半导体Fabs中发现。该730A是将读数记录到任何质量管理软件系统中的无线文档键合格。
  • 亚博vip网页版塔梅温度和校准产品线包括热度应用的光谱,从一般温度测量到喷气发动机测试台等专业应用。这些高度准确的仪器可供选择数据记录88亚博 , 和温度校准器对于众多应用程序。
  • RF功率传感器是半导体Fabs中及其周围的关键测试仪器。许多人依靠PMX自动化电源传感器校准系统从多个制造商维护他们的库存。快速转弯和自动化ISO17025校准在其传感器工作量上很容易实现。亚博vip网页版Tegam支持一个系统上的所有主要制造商。

Baidu