半导体的应用

先进半导体需要精确的测量

半导体制造

半导体制造工厂的机器零件

更精细的几何形状和更密集的电路要求在蚀刻和沉积过程中更精确的射频功率控制。亚博vip网页版TEGAM在高功率射频测量方面的专业知识是过程控制一致性和可重复性的关键。我们保持ISO17025认证在所有标准ISM频率高达10千瓦。我们无与伦比的热量计达到最低的不确定度,并可通过国家标准追溯。您可以使用我们的校准服务来维持您的工作标准,或从我们处购买经过认可校准的工作标准。

  • 5500系列射频功率计是独一无二的传感器和仪表在一个包。它可以用于传送0.5%的测量到半导体工厂的地板或作为现场监测。积分显示测量功率(FWD/REV),频率和驻波比。它是一个标准的USB端口,可以与双子座工具软件用于监控和记录笔记本电脑。
  • 700系列焊接仪表擅长在生产工具上测量小于1Ω的电键,以验证安全理由和射频屏蔽。这些都是具有高度的可移植性作为市场上最小的债券仪表。720A具有UL/ATEX/CSA评级,可用于有潜在危险的场所,如半导体工厂。730A是一种无线记录键表,记录读数到任何质量管理软件系统。
  • 亚博vip网页版TEGAM的温度和校准产品系列包括温度测量的应用范围,从一般的温度测量到专门的应用,如喷气发动机试验台。这些高度精确的仪器可用数据记录88亚博 ,温度校准器对于许多应用程序。
  • 射频功率传感器是国内外半导体工厂的关键测试仪器。许多依赖于PMX自动化功率传感器校准系统维护来自多个制造商的库存。快速周转和自动化与ISO17025校准很容易在传感器工作负载上实现。亚博vip网页版TEGAM在一个系统上支持所有主要的制造商。

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